专利名称：一种镀膜机自动控制膜厚度的方法专利类型：发明专利
发明人：唐洪波,黄乐,孙桂红,黄国兴,祝海生申请号：CN201911276384.9申请日：20191212公开号：CN112481597A公开日：20210312
摘要：本发明公开了一种镀膜机自动控制膜厚度的方法，所述的方法包括：步骤a)待镀膜基片通过基片架传输至真空镀膜室，启动真空泵直至真空镀膜室内真空度达2.65×10‑3MPa；步骤b)厚度传感器初测原始基片厚度后向数据处理器发送初始数据，开启基片架旋转开关，开启离子泵电源，开始进行磁控溅射镀膜；步骤c)厚度传感器实时检测基片镀膜时的厚度变化值，并将变化值发送至数据处理器；步骤d)所述数据处理器记录基片的实时厚度数据，控制离子源电源的启停；步骤e)关闭真空泵，启动镀膜下一工序。本发明提供镀膜机自动控制膜厚度的方法，可通过实时检测溅射过程中的膜厚度，再通过控制系统控制镀膜机启停，从而达到自动控制膜厚度的目的。
申请人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
地址：411100 湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号
国籍：CN
代理机构：湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：安曼
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