专利名称：一种复合薄膜专利类型：发明专利发明人：张法亮
申请号：CN201811576576.7申请日：20181223公开号：CN109468590A公开日：20190315
摘要：本发明提供了一种复合薄膜及制备薄膜的合金靶材和制备工艺，其特征在于复合薄膜由非晶材质和晶态材质组成，非晶材质体积百分含量大于80%，采用合金靶材通过气相沉积制备得到。本发明所提供的薄膜具有强度高，耐腐蚀性强，成本低廉的特性，易于工业化生产。
申请人：深圳市千禾盛科技有限公司
地址：518000 广东省深圳市坪山新区金牛路燕子岭生活区B区一号建筑3层A部分
国籍：CN
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