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半导体装置及其操作方法[发明专利]

2023-08-03 来源:步旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:半导体装置及其操作方法专利类型:发明专利发明人:孙沿林,郭守柱申请号:CN201710144098.1申请日:20170313公开号:CN108574013A公开日:20180925

摘要:本发明公开了一种半导体装置及其操作方法,涉及半导体技术领域。该半导体装置包括:衬底;位于该衬底上的有源区;其中,该有源区包括:第一有源区和与该第一有源区的延伸方向平行排列的第二有源区;该第一有源区包括:连接部和在该连接部两侧的第一部分和第二部分,其中,该连接部将第一部分和第二部分连接成整体;该第二有源区包括:被沟槽隔离部隔离开的第三部分和第四部分;其中,该沟槽隔离部与该连接部相对应;以及覆盖在该沟槽隔离部和该连接部之上的第一伪栅极。本发明减小了在接触件形成过程中过刻蚀问题发生的可能性。

申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址:201203 上海市浦东新区张江路18号

国籍:CN

代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人:曲瑞

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