（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201880083779.4 （22）申请日 2018.12.21 （71）申请人 花王株式会社
地址 日本国东京都
（10）申请公布号 CN111511870A
（43）申请公布日 2020.08.07
（72）发明人 内田洋平
（74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司
代理人 王永红
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
氧化硅膜用研磨液组合物
（57）摘要
本发明的氧化硅膜用研磨液组合物含有氧
化铈粒子、水溶性高分子化合物及水系介质，上述水溶性高分子化合物是包含甜菜碱结构的水溶性高分子化合物(其中，羧基甜菜碱均聚物、磺基甜菜碱均聚物除外)。上述水溶性高分子化合物优选为含有结构单元A和结构单元B的水溶性高分子化合物，所述结构单元A包含甜菜碱结构，所述结构单元B是上述结构单元A以外的结构单元，且含有伯氨基、仲氨基、叔氨基、季铵基及
它们的盐中的至少1种基团。
法律状态
法律状态公告日
2020-08-07
公开
法律状态信息
公开
法律状态
权利要求说明书
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说明书
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