（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201610806796.9 （22）申请日 2016.09.07
（71）申请人 深圳清溢光电股份有限公司
地址 518057 广东省深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼
（10）申请公布号 CN106435589A
（43）申请公布日 2017.02.22
（72）发明人 鄢红军;熊启龙
（74）专利代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 汤东凤
（51）Int.CI
C23F1/26;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种铬蚀刻液及其制备方法
（57）摘要
本发明公开了一种铬蚀刻液及其制备方
法，所述铬蚀刻液包括：30～60份硝酸铈铵，200～300份高氯酸和4500～6000份去离子水；该铬蚀刻液的制备方法为：将30～60份硝酸铈铵，200～300份高氯酸和4500～6000份去离子水倒入搅拌釜内，调节不同的搅拌速度进行搅拌混合，待混合均匀后抽真空，静置一段时间后进行过滤。本发明的铬蚀刻液能够应用于同时进行
垂直和侧向蚀刻的双向蚀刻工艺中，对蚀刻过程进行精细控制，提高铬膜图形精度及精度均匀性。
法律状态
法律状态公告日
2017-02-22 2017-02-22 2017-05-10 2017-05-10 2019-11-01
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
一种铬蚀刻液及其制备方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
一种铬蚀刻液及其制备方法的说明书内容是....请下载后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容