专利名称：用于处理晶片形物品的方法和装置专利类型：发明专利
发明人：弗兰克·霍尔斯坦斯,亚历山大·利伯特申请号：CN201310578966.9申请日：20131118公开号：CN103871929A公开日：20140618
摘要：本发明公开了用于处理晶片形物品的方法和装置。通过使用被设计为产生单分散微滴喷雾的微滴生成器来提高晶片形物品的湿法处理。微滴生成器安装到旋压卡盘上方，并且沿线性或弧形路径移动横过晶片形物品的主表面。微滴生成器包括换能器，所述换能器与其主体声学地耦合以使声能到达主体的围绕排放孔口的区域。每个孔口都具有至少1μm且至多200μm的宽度w和高度h，以使h与w的比率不大于1。
申请人：朗姆研究公司
地址：奥地利菲拉赫
国籍：AT
代理机构：上海胜康律师事务所
代理人：李献忠
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