一种光学定位测量系统[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号(10)授权公告号 CN 204043683 U(45)授权公告日 2014.12.24

(21)申请号 201420114485.2(22)申请日 2014.03.14

(73)专利权人北京普瑞微纳科技有限公司

地址100080 北京市海淀区中关村东路95

号8号楼415室(72)发明人雷枫 李少博 问孝明(51)Int.Cl.

G01D 5/26(2006.01)

权利要求书1页 说明书2页 附图1页权利要求书1页 说明书2页 附图1页

(54)实用新型名称

一种光学定位测量系统(57)摘要

本实用新型公开了一种光学定位测量系统，包括激光、显微物镜、准直透镜、反射片、载物台、反射镜、基准反射镜、会聚成像透镜组、检测器、数据处理器和计算机，所述激光的输出端依次穿过所述显微物镜和所述准直透镜射向所述反射片，所述反射片的光源射向所述反射镜，所述反射镜安装于所述载物台上，位于所述反射片的一侧，所述基准反射镜位于所述会聚成像透镜组，所述检测器安装于所述会聚成像透镜组的上方，所述检测器的信号输出端与所述数据处理器的信号输入端连接，所述数据处理器的信号输出端与所述计算机的信号输入端连接。本实用新型设计一种结构简单的光学定位测量系统，可以通过测量将结果反馈到计算机上显示，替换了原有的测量装置，其性能较为稳定，使用寿命较长。CN 204043683 U CN 204043683 U

权 利 要 求 书

1/1页

1.一种光学定位测量系统，其特征在于：包括激光、显微物镜、准直透镜、反射片、载物台、反射镜、基准反射镜、会聚成像透镜组、检测器、数据处理器和计算机，所述激光的输出端依次穿过所述显微物镜和所述准直透镜射向所述反射片，所述反射片的光源射向所述反射镜，所述反射镜安装于所述载物台上，位于所述反射片的一侧，所述基准反射镜位于所述会聚成像透镜组，所述检测器安装于所述会聚成像透镜组的上方，所述检测器的信号输出端与所述数据处理器的信号输入端连接，所述数据处理器的信号输出端与所述计算机的信号输入端连接。

2.根据权利要求1所述的一种光学定位测量系统，其特征在于：所述反射片的光源射入所述反射镜，所述反射镜的光源射入所述基准反射镜，所述基准反射镜的光源射入会聚成像透镜组，所述光源呈十字型。

2

CN 204043683 U

说 明 书一种光学定位测量系统

1/2页

技术领域

[0001]

本实用新型涉及一种测量系统，尤其涉及一种光学定位测量系统。

背景技术

在光学基础上公知的增量式定位测量装置中，通常是对带有周期性比例刻度的比例尺借助于同样周期性扫描刻度进行扫描。然而在这种定位测量装置中，在测量工作中或者安装时，比例尺和扫描单元可能产生环绕一个轴线垂直在比例尺上扭转的现象，这给测量带来了非常的不便。

[0002]

实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光学定位测量系统。[0004] 本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：[0005] 本实用新型包括激光、显微物镜、准直透镜、反射片、载物台、反射镜、基准反射镜、会聚成像透镜组、检测器、数据处理器和计算机，所述激光的输出端依次穿过所述显微物镜和所述准直透镜射向所述反射片，所述反射片的光源射向所述反射镜，所述反射镜安装于所述载物台上，位于所述反射片的一侧，所述基准反射镜位于所述会聚成像透镜组，所述检测器安装于所述会聚成像透镜组的上方，所述检测器的信号输出端与所述数据处理器的信号输入端连接，所述数据处理器的信号输出端与所述计算机的信号输入端连接。[0006] 进一步，所述反射片的光源射入所述反射镜，所述反射镜的光源射入所述基准反射镜，所述基准反射镜的光源射入会聚成像透镜组，所述光源呈十字型。[0007] 本实用新型的有益效果在于：

[0008] 本实用新型设计一种结构简单的光学定位测量系统，可以通过测量将结果反馈到计算机上显示，替换了原有的测量装置，其性能较为稳定，使用寿命较长。附图说明

图1是本实用新型所述一种光学定位测量系统的结构示意图。[0010] 图中：1-激光、2-显微物镜、3-准直透镜、4-反射片、5-载物台、6-反射镜、7-基准反射镜、8-会聚成像透镜组、9-检测器。

[0009]

具体实施方式

[0011] 下面结合附图对本实用新型作进一步说明：[0012] 如图1所示：本实用新型包括激光1、显微物镜2、准直透镜3、反射片4、载物台5、反射镜6、基准反射镜7、会聚成像透镜组8、检测器9、数据处理器和计算机，激光1的输出端依次穿过显微物镜2和准直透镜3射向反射片4，反射片4的光源射向反射镜6，反射镜6安装于载物台5上，位于反射片4的一侧，基准反射镜7位于会聚成像透镜组8，检测器9安装于会聚成像透镜组8的上方，检测器9的信号输出端与所数据处理器的信号输入端连接，

3

CN 204043683 U

说 明 书

2/2页

数据处理器的信号输出端与计算机的信号输入端连接，反射片4的光源射入反射镜6，反射镜6的光源射入基准反射镜7，基准反射镜7的光源射入会聚成像透镜组8，光源呈十字型。[0013] 本领域技术人员不脱离本实用新型的实质和精神，可以有多种变形方案实现本实用新型，以上所述仅为本实用新型较佳可行的实施例而已，并非因此局限本实用新型的权利范围，凡运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变化，均包含于本实用新型的权利范围之内。

4

CN 204043683 U

说 明 书 附 图

1/1页

图1

5