专利名称：超声波换能器及超声波检查装置专利类型：发明专利
发明人：町田俊太郎,峰利之,藤崎耕司,竹崎泰一,龙崎大介申请号：CN201680038034.7申请日：20160516公开号：CN107710787A公开日：20180216
摘要：在静电电容检测型的超声波换能器中，由于超声波换能器的单元阵列的各单元的膜状物的膜厚偏差，导致单元阵列内的单元的器件特性变得不均匀。超声波换能器具备CMUT芯片
(301)，CMUT芯片(301)包括：形成有多个单元的单元阵列区域CAR；以及与单元阵列区域CAR相邻接的周边区域PER，在单元阵列区域CAR配置梁结构体(201)，并且在周边区域PER配置相当于梁结构体(201)的多个图案结构体(311)。由此，将单元阵列区域CAR的单位表面积和周边区域PER的单位表面积的差减小。其结果，能够提高覆盖梁结构体(201)和图案结构体(311)的绝缘膜的膜厚的均匀性。
申请人：株式会社日立制作所
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京银龙知识产权代理有限公司
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