专利名称：高纯气体输送设备专利类型：实用新型专利发明人：马全合,张磊,石志强申请号：CN201220378433.7申请日：20120731公开号：CN202746942U公开日：20130220
摘要：本实用新型涉及一种高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；本实用新型具有气体压力及流量供应稳定的优点。
申请人：无锡奥维特电子科技有限公司
地址：214072 江苏省无锡市蠡园开发区景宜路18号204室
国籍：CN
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