一种铟镓砷短波红外探测器

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610407146.7 （22）申请日 2016.06.12

（71）申请人 中国科学院上海技术物理研究所

地址 200083 上海市虹口区玉田路500号

（10）申请公布号 CN105914250A

（43）申请公布日 2016.08.31

（72）发明人 李平;李淘;李雪;邵秀梅;唐恒敬;龚海梅 （74）专利代理机构 上海新天专利代理有限公司

代理人 郭英

（51）Int.CI

H01L31/09; G01J5/20;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种铟镓砷短波红外探测器

（57）摘要

本发明公开了一种铟镓砷短波红外探测

器。器件结构从上至下依次包括钝化层，窗口层，吸收层，缓冲层，读出电路，金属电极和互连通孔。其中，金属电极制备在缓冲层上。互连通孔制备在光敏元上，形成一个锥形通孔。互连通孔只与窗口层和读出电路连通。钝化层覆盖了除金属电极以外的器件表面，同时在互连通孔锥

形下半部形成内部绝缘隔离。本器件结构特征在于新型铟镓砷短波红外探测器在光敏元上引入一个锥形的通孔，然后在通孔中填充互连金属连接窗口层与读出电路，使得探测器光敏元从材料内部就可以与读出电路进行互连。这种结构具有结构紧凑、易集成，能有效提高探测器在三维方向的堆叠密度，是未来发展微系统的核心技术。

法律状态

法律状态公告日2016-08-31 2016-08-31 2016-09-28 2016-09-28 2017-05-03 2017-05-03 2020-04-17

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利申请权、专利权的转移

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专利申请权、专利权的转移

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说明书

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