（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201810688651.2 （22）申请日 2018.06.28
（71）申请人 中国科学院微电子研究所
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
（10）申请公布号 CN108807346A
（43）申请公布日 2018.11.13
（72）发明人 高建峰;李俊峰;殷华湘;赵超;王文武 （74）专利代理机构 北京华沛德权律师事务所
代理人 房德权
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种探测器、热敏电阻、氧化钒薄膜及其制造方法
（57）摘要
本发明公开了一种探测器、热敏电阻、氧
化钒薄膜及其制造方法，氧化钒薄膜，包括：衬底；氧化钒薄膜交叠层，所述氧化钒薄膜交叠层位于所述衬底上，其中，所述氧化钒薄膜交叠层为第一类氧化钒薄膜层和第二类氧化钒薄膜层一一交替覆盖形成，所述第一类氧化钒薄膜层的电阻率低于所述第二类氧化钒薄膜层的电阻率。本发明提供的探测器、热敏电阻、氧化钒薄膜和方法，用以解决现有技术中的氧化钒薄膜存在的电
阻均匀性差和热稳定性差的技术问题。提高了在氧化钒薄膜的电阻分布均匀性和热稳定性。
法律状态
法律状态公告日
2018-11-13 2018-11-13 2018-11-13 2018-12-07 2018-12-07 2020-04-28
法律状态信息
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
法律状态
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
一种探测器、热敏电阻、氧化钒薄膜及其制造方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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