一种半导体晶片notch槽晶向测量装置及使用方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610939926.6 （22）申请日 2016.11.02

（71）申请人 中国电子科技集团公司第四十六研究所

地址 300220 天津市河西区洞庭路26号

（10）申请公布号 CN106370679A

（43）申请公布日 2017.02.01

（72）发明人 陶术鹤;王云彪;马玉通;陆峰;张贺强;吕菲 （74）专利代理机构 天津中环专利商标代理有限公司

代理人 胡京生

（51）Int.CI

G01N23/20;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种半导体晶片notch槽晶向测量装置及使用方法

（57）摘要

本发明涉及一种半导体晶片Notch槽晶向

测量的装置及使用方法，采用X射线定向仪，X射线定向仪的圆形工作台上有数个带凹槽的通螺纹孔为定位柱孔，圆心在以圆形工作台上的X射线测量点到测量台圆心连线为基准线、按外圆逆时针旋转90°、以D–r为半径的圆上一点，其中D为被测晶片的半径、r为notch槽定位柱半径，notch槽定位柱固定于定位柱孔中，将被测

半导体晶片放在工作台上并使notch槽缺口处放在定位柱处卡住，打开光栅，打开电源开关，摇动工作台转轴，直到电流表指针达到最大值，表征notch槽晶向位置，技术效果是结构简单，操作方便、测量准确，效率高，能够避免因测量过程中与仪器金属部件过多的接触带来晶片边缘的损伤。

法律状态

法律状态公告日

2017-02-01 2017-02-01 2017-03-01 2017-03-01 2019-07-05

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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