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适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置[发明专利]

2020-10-14 来源:步旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置专利类型:发明专利

发明人:孙国飞,陈辉,张鹏铭,朱鑫峰,张玮,徐飞,吴建飞申请号:CN201010614534.5申请日:20101230公开号:CN102080266A公开日:20110601

摘要:本发明涉及一种适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置。它包括炉壁,设置在炉壁上的电热元件支承座,通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座上,其特征在于电热元件支承座的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。本发明具有突出的实质性特点:电热元件支承座通过连接组件与炉壁呈镶嵌式可拆卸配合,通过拆卸连接组件,可方便的拆下电热元件支承座进行更换,不再额外破坏原本完好的保温层,使得维修更换更为方便,且维修工程小、成本低。

申请人:绍兴精功机电有限公司

地址:312028 浙江省绍兴市绍兴县杨汛桥镇绍兴精功机电有限公司

国籍:CN

代理机构:浙江翔隆专利事务所

代理人:戴晓翔

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