专利名称：晶片测试机的测片台专利类型：实用新型专利发明人：周巍
申请号：CN200420019775.5申请日：20040117公开号：CN2676407Y公开日：20050202
摘要：本实用新型涉及一种光学晶片测试机的测片台，包括托台、测片台面，U形支架安装于托台上，对称安装在气爪的两连接臂上各安装一根归正杆，连接臂上各安装一归正杆间距调节螺钉(7)，测片台面上开有气孔，与真空接头连接。本实用新型结构优化，操作简便，降低了部件磨损对测量准确度的影响。提高测量准确度和测试效率，降低了成本。
申请人：周巍
地址：318000 浙江省台州市椒江区云健小区15幢201室
国籍：CN
代理机构：台州市方圆专利事务所
代理人：蔡正保
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