专利名称：一种光学薄膜均匀成膜系统专利类型：实用新型专利发明人：范卫星
申请号：CN201720651967.5申请日：20170606公开号：CN206858645U公开日：20180109
摘要：本实用新型公开了一种光学薄膜均匀成膜系统，包括控制单元、膜厚监测系统、真空室、设在真空室内的镀膜工件架、电机及膜料蒸发源，还包括可监测所述电机在成膜开始时的初始转角和成膜过程中的实时转角的编码器，膜料蒸发源具有膜料释放口，真空室内在膜料释放口处设有可阻断膜料蒸发源释放膜料的蒸发阻挡部件，蒸发阻挡部件、编码器均与所述控制单元连接。本实用新型可保证在电机旋转到同一个位置时，方可关闭蒸发阻挡部件，停止蒸发。这种膜厚的判停方式带来的好处是，在工件架上的光学基片或透镜每个位置都经历了完整的电机旋转周期，给每层膜带来的厚度被动偏差最小，可以提高窄带滤光片、高精度截止滤光片或膜良品率，提高光学镀膜机的性能。
申请人：东莞隆润光学技术有限公司
地址：523275 广东省东莞市高埗镇高龙西路誉方科技园二楼203号
国籍：CN
代理机构：广州嘉权专利商标事务所有限公司
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