专利名称：用于化学成像的原子力显微镜的红外光谱方法及装
置
专利类型：发明专利
发明人：凯文·柯约乐,克雷格·普拉特申请号：CN201780074631.X申请日：20171018公开号：CN110050193A公开日：20190723
摘要：提供了用于获得具有低至几纳米的空间分辨率的极高灵敏度的化学成分图的方法及装置。在一些实施例中，能够通过组合三种技术生成该化学成分图：(1)使用红外辐射照射样本，而不是调谐到样本的吸收带；(2)优化调谐到特定靶材的机械耦合效率；(3)优化调谐到特定靶材的谐振检测。通过组合这些步骤可以获得(1)基于独特红外吸收的化学成分图；(2)通过极短距离的针尖‑样本相互作用增强的空间分辨率；(3)调谐至特定靶材的谐振放大。在其他实施例中，可以利用这些步骤中的任两个，仍然能够实现空间分辨率和/或灵敏度的实质改进。
申请人：布鲁克纳米公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：宋融冰
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容