(12)实用新型专利
(21)申请号 CN201920767690.1 (22)申请日 2019.05.27
(71)申请人 广州本森咨询服务有限公司 整套
(72)发明人 刘永忠 (74)专利代理机构
代理人
地址 510006 广东省广州市番禺区市桥街环城中路63、65、67、69号梅山大厦3楼
(10)申请公布号 CN209998755U
(43)申请公布日 2020.01.31
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
一种基于T型气浮导轨的运动平台
(57)摘要
本实用新型提供了一种基于T型气浮导轨
的运动平台,包括:隔震基台,隔震基台设置有第一X向导轨基座和第二X向导轨基座,Y向导轨基座沿Y向固定在第一X向导轨基座和第二X向导轨基座之间,Y向侧边导轨贴合设置在Y向导轨基座的前后外侧端面上,Y向侧边导轨上安装有真空预压气浮件,Y向工作台固定在Y向侧边导轨顶部;第一X向侧边导轨和第二X向侧边
导轨分别贴合设置在第一X向导轨基座的左右两侧,X向工作台固定在第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨顶部。本基于T型气浮导轨的运动平台,通过将X、Y方向运动模块位于同一基准平面上,保证X、Y方向运动平面基准的统一,避免倾斜力矩的产生,提高运行精度。
法律状态
法律状态公告日
2020-01-31
法律状态信息
授权
法律状态
授权
权利要求说明书
一种基于T型气浮导轨的运动平台的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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