高介电常数材料

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200610004005.7 （22）申请日 2006.01.06

（71）申请人 因芬尼昂技术股份公司

地址 德国慕尼黑

（10）申请公布号 CN1832143A （43）申请公布日 2006.09.13

（72）发明人 S·戈文达拉詹

（74）专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司

代理人 范赤

（51）Int.CI

H01L21/8242; H01L21/8222; H01L21/82; H01L21/314; H01L21/02; H01L21/00; H01L27/108; H01L27/102; H01L27/10; H01L27/00;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

高介电常数材料

（57）摘要

电容器(10)包括衬底(12)和两个金属电极

(14，18)。在电极之间形成介电层(16)。优选地，该介电层具有大于25的介电常数和对硅具有足够的导带偏移。提出的示例性实施方案使用以下材料体系：Hf

法律状态

法律状态公告日

2006-09-13 2006-09-13 2006-11-08 2006-11-08 2010-05-12 2010-05-12 2012-10-31 2012-10-31 2012-10-31 2012-10-31 2016-01-13 2016-01-13 2018-02-27

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的终止

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权利要求说明书

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